由于离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比离子束高，但表面粗糙度稍差。 - 查题网

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高等继续教育 / 先进制造技术

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由于离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比离子束高，但表面粗糙度稍差。
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